測量環(huán)境中的臭氧濃度，檢測工作環(huán)境臭氧是否超標(biāo)，臭氧濃度高于一定值時(shí)是有毒和腐蝕性氣體。是監(jiān)測氣體發(fā)生設(shè)備、氣柜、氣體輸送系統(tǒng)以及半導(dǎo)體設(shè)備的臭氧濃度的理想選擇。

量程：0-0.1ppm,0-10ppm,0-100ppm或0-1000ppm可選
取樣點(diǎn)數(shù)量：1，3或5個(gè)內(nèi)置式多通道閥
精度等級：5ppb(0-1ppm量程)，0.01ppm(0-10ppm量程)，0.1ppm(0-100ppm量程)，1ppm(0-1000ppm)
分辨率高：0.001ppm(0-1ppm)，0.01ppm(0-10ppm)
CE認(rèn)證
內(nèi)部自檢
RS-232通訊接口
可選4-20mA輸出

● 傳感器：智能型傳感器
● 應(yīng)用：高濃度氣相臭氧測量
● 原理：聲學(xué)法（專利）
● 測量單位：質(zhì)量百分比（W%W）
● 測量范圍：0-20%重量
● 測量精度：±0.5%的臭氧質(zhì)量比
● 采樣流量：0.2-10 SLPM
● 采樣壓力：-15～35 psig
● 1/4"接口
● LCD顯示臭氧濃度和氣流率
● 模擬輸出：4-20mA，0.2VDC