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GFC型質量流量控制器用來顯示和控制氣體的設定流量
GFC把傳統(tǒng)質量流量設備的特性和精確性結合成先前未能達到的緊湊和低價格的流量控制器。
每個控制器都帶有一個先進的興流路相連的直型管式探頭，流路材料的鋁和銅適用于無腐蝕性氣體，316不銹鋼適用于無腐蝕性的使用。可通過外部感測器輕松地進行歸零和跨度調節(jié)。 |
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被量測氣體被分成兩條流通道，一條經過主通道，另一條經過毛細感應管。 |
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| 設計特點 |
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■ 堅固的金屬結構
■ ****壓力為1000psig(70bar)
■ 氦氣泄漏1×10-7sml/sec
■ NIST可追溯證明
■ 內置傾斜LCD顯示
■ 本地或遙控設定控制
■ 0-5VDC和4-20mA信號
■ 保證電路
■ 可選累加器
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| 泄漏性 |
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氦氣****泄漏到外部環(huán)境為1×10-7sml/sec |
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型號 |
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****壓力下降 |
[mm H 2 O] |
[psid] |
[mbar] |
GFC 17 |
up to 10 |
720 |
1.06 |
75 |
GFC 37 |
15 |
2630 |
3.87 |
266 |
20 |
1360 |
2.00 |
138 |
30 |
2380 |
3.50 |
241 |
40 |
3740 |
5.50 |
379 |
50 |
5440 |
8.00 |
551 |
GFC 47 |
60 |
7480 |
11.00 |
758 |
100 |
12850 |
18.89 |
1302 |
GFC 57 |
200 |
7031 |
10.00 |
690 |
GFC 67 |
500 |
8437 |
12.00 |
827 |
GFC 77 |
1000 |
10547 |
15.00 |
1034 |
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流量范圍 |
GFC17低流量質量流量控制器 |
型號 |
編碼 |
scc/min [Nz] |
編碼 |
std liters/min [Nz] |
GFC17 |
-01 |
0 to 10 |
07 |
0 to 1 |
-02 |
0 to 20 |
08 |
0 to 2 |
-03 |
0 to 50 |
09 |
0 to 5 |
-04 |
0 to 100 |
10 |
0 to 10 |
-05 |
0 to 200 |
|
-06 |
0 to 500 |
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GFC37中流量質量流量控制器 |
型號 |
型號 |
std liters/min [Nz] |
GFC37 |
-11 |
0 to 15 |
-30 |
20 |
-31 |
30 |
-32 |
40 |
-33 |
50 |
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GFC47/57/67/77高流量質量流量控制器 |
| 型號 |
型號 |
std liters/min [Nz] |
| GFC47 |
-40 |
60 |
| -41 |
80 |
| -42 |
100 |
| GFC57 |
-50 |
200 |
| GFC67 |
-60 |
500 |
| GFC77 |
-70 |
1000 |
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| 產品尺寸 |
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型號 |
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尺寸 |
LCD顯示 |
無顯示 |
A |
B |
C/*C |
D/*D |
E/*E |
F |
G |
H |
GFC 17 |
1/4''外徑 |
5.60 |
1.00 |
1.00 |
4.27 |
6.29 |
0.69 |
2.69 |
4.50 |
GFC 37 |
1/4''外徑 |
5.98 |
1.37 |
1.25 |
5.19 |
7.21 |
0.69 |
2.69 |
4.88 |
GFC 47 |
3/8''外徑 |
5.98 |
1.37 |
1.25 |
5.19 |
7.33 |
0.69 |
2.69 |
4.88 |
GFC 57 |
3/8''外徑 |
6.60 |
2.00 |
1.75 |
10.2 |
12.3 |
0.99 |
4.69 |
5.50 |
GFC 67 |
1/2''外徑 |
7.56 |
3.00 |
3.00 |
10.2 |
12.4 |
1.69 |
- |
6.46 |
GFC 77 |
3/4''NPT |
8.56 |
4.00 |
4.00 |
10.5 |
- |
- |
- |
7.46 |
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