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 適用于半導(dǎo)體工業(yè)
 
 
 特點(diǎn)
 

工業(yè)半導(dǎo)體凈化室的理想檢測(cè)儀器
更適于低濃度氣體檢測(cè)(ppm級(jí))
抗干擾性強(qiáng)
盒式帶取放簡(jiǎn)便
盒帶剩余量顯示

 
 規(guī)格
 
類型
臺(tái)式,可搬運(yùn)型
檢測(cè)原理
光電光度學(xué)原理用于盒式紙帶
檢測(cè)盒帶
VHS型可更換盒式帶
電源和
耗電量
AC220V 50/60Hz
檢測(cè)時(shí):35VA 供帶時(shí):60VA
尺寸·重量
275(W)×220(H)×370(D)mm 約12Kgs
 
 檢測(cè)氣體名稱
 
檢測(cè)氣體
TLV值
檢測(cè)范圍
解析度
磷 PH3
300ppb
0-900ppb
5
四氫化硅 SiH4
5ppm
0-15ppm
0.25
乙硼烷 B2H6
100ppb
0-300ppb
5
胂 AsH3
50ppb
0-150ppb
1
乙硅烷 SiH6
5ppm
0-10ppm
0.1
硫化氫HS2
10ppm
0-100ppm
1
光氣 COCl2
100ppb
0-300ppb
2
氯氣 Cl2
0.5ppm
0-100ppb
1
硒化氫 H2Se
50ppb
0-300ppb
2
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