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 適用于半導(dǎo)體工業(yè)
 
 
 特點(diǎn)
 

內(nèi)裝微機(jī)能進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整和自我診斷
LCD液晶顯示
小型、輕量設(shè)計(jì)
帶峰值保持和測(cè)平均值功能
聲/光雙重報(bào)警功能
記錄輸出(1~5VDC)

 
 規(guī)格
 
檢測(cè)原理
定電位電解方式
檢測(cè)氣體和范圍
見(jiàn)下表
檢測(cè)方式
連續(xù)檢測(cè)/平均值檢測(cè)/峰值檢測(cè)
控制功能
微機(jī)控制
顯示
LCD自照明
指示精度
±10%FS以內(nèi)
反應(yīng)時(shí)間
30秒內(nèi)(氣體濃度超3倍報(bào)警設(shè)定值時(shí))
采樣系統(tǒng)
隔膜內(nèi)置泵
使用溫/濕度
-10℃~+40℃,低于90%RH
連續(xù)使用時(shí)間
堿性干電池20小時(shí),Ni-Cd電池10
小時(shí)(無(wú)報(bào)警照明時(shí))可連接AC外接電源
尺寸·重量
200(W)×80(H)×142(D)mm 約1.9Kg
 
 檢測(cè)氣體名稱
 
檢測(cè)氣體
檢測(cè)范圍
報(bào)警設(shè)定值
磷 (PH3)
0-1.00ppm(1刻度0.05ppm)
0.3ppm
胂 (AsH3)
0-1.00ppm(1刻度0.05ppm)
0.3ppm
四氫化硅 (SiH4)
0-15.0ppm(1刻度0.5ppm)
5ppm
乙硼烷 (B2H6)
0-30.0ppm(1刻度0.5ppm)
10ppm
氯化氫 (HCl)
0-5.00ppm(1刻度0.05ppm)
2ppm
氟化氫(HF)
0-9.0ppm(1刻度0.5ppm)
3ppm
 
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