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　適用于半導體工業
 
 
　特點
 

● 臺式可搬運型
● 帶外部報警接點(NO接點)和記錄輸出(4-20mA或1-5V DC)
● 幾乎不受有機溶劑氣體影響
● 氣體通道采用耐腐蝕結構
● 2級報警方式(第一，第二段報警)
 
　規格
 
檢測原理
定電位電解方式
檢測氣體和范圍
空氣中的毒氣，見下表
指示精度
±10%F.S以內
報警設定值
視不同氣體而定
使用溫度范圍
0℃～+40℃
電源
AC220V±10%
尺寸·重量
200(W)×200(H)×320(D)mm 約6.9Kg
 
　檢測氣體名稱
 
氣體名稱
EC-565S型(ppm)
EC-565SS型(ppm)
EC-565ST型(ppm)
胂 AsH3
0-1
0-0.2
--
四氯化碳 CCl4
--
--
0-30
氯氣 Cl2
0-3
--
--
氯仿 CHCl3
--
--
0-30
乙硼烷 B2H6
--
0-0.3
--
氟 F2
--
0-5
--
鍺烷 GeH4
--
0-2
--
氯化氫 HCl
0-5/15
--
--
氰化氰 HCN
--
0-30
--
氟化氰 HF
0-9
--
--
硒化氫 SeH2
--
0-0.2
--
臭氧 O3
0-5
0-1
--
磷 PH3
0-1
0-0.2
--
四氫化硅 SiH4
0-15
--
--
二氧化硫 SO2
0-15
--
--
三氯乙烯 CHCLCCL2
--
--
0-50
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